SJT 31116-1994 PLA-501F型光刻机完好要求和检查评定方法
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BDC0F5ECE8BA4555A70CBE9110DACAA8 |
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0.21 |
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日期： |
2024-7-28 |
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中华人民共和国电子行业标准,SJ/T 31116-94,PLA-501F型光刻机完好要求和检查评定方法,1主题内容与适用范围,本标准规定了 PLA—501F型光刻机的完好要求和检查、评定方法,本标准适用于PLA-501F型光刻机,其它类型光刻机,亦可参照执行,2完好要求,2.1 主要技术指标,2.1.1 套刻精度:士/m；,2.1.2 波长范围:0. 365—0. 436km；,2.1.3 予对准精度:士 15/zm；,2.1.4 光照度均匀性:±3%ハ,2.1.5 主要性能要求,a曝光最大面积M25mm,b激光自动对准稳定可靠,c对准方式:全自动、半自动、手动,d间隙单元机构稳定可靠,e上下料机构予对准符合出厂标准,2.2 操作系统,2.2.1 各操作开关,按钮启动灵活,定位可靠,标志齐全,2.2.2 制动、限位装置齐全,灵活可靠,2.3 传动系统,2. 3.1自动上、下料园片传送装置稳定可靠,2.3- 2工作台运行灵活可靠,2.3.3 X、Y、Q对准控制灵活,可靠,2.3.4 予对准装置运行准确,2. 3.5各机械传动部件平稳、可靠,ラ-4大路系统,2.4.1 气路系统的运动件在规定的各种速度范围内,不应发生振动和显著的冲击,不应有停,滞现象,中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准1994-06-01 实施,SJ/T 31116-94,2.4.2 各流量计指示正确,误差在允许范围内,且有效期在校验合格证内,2.4.3 气路及真空管道,接头、阀门元件之间联结应牢固,密封良好、无漏气现象,2.4- 4各气动阀,手动阀工作正常,开启,关闭灵活,到位,2.5电 气系统,2.5.1 电气控制箱内布线整齐,各指示灯齐全完整,指示正确。各种线路标志明显,联接可靠,线路绝缘层无破损老化,2.5.2 电气系统装置齐全,管线完整,性能良好,运行可靠,2.5.3 各种开关动作灵敏,自动保护装置及报警装置齐全,安全可靠,工作灵敏可靠,2..5. 4控制器按键操作灵活可靠,2.5.5 光强控制器运行正常,2.5.6 各电磁接触器、磁力启动器、继电器动作灵敏可靠,2.6 光学系统,2.6.1 曝光光学系统确保工艺规定的光强度,曝光的均匀性符合要求,2.6.2 对准光学部分应确保视场清晰,2.7 安全防护,2.. 7.1设备保护盖板、挡尘板齐全,完整无损、牢固、可靠,2.7 .2外壳接地可靠。标志明显,2.8 维护保养,按SJ/T 31002—94《设备维护保养通则》执行,3检查、评定方法,3.1 检查方法,3.1.1 用特制掩膜板上图形经3—5次对版曝光后,然后把硅片在高倍显微镜下进行观察测试,套刻精度,3.1.2 用频谱仪、光谱仪检测波长范围,3.1 . 3用206型照度计,用0. 365Mm或0. 405km探头放在承片台上测试六个点,测试光强度,和光的均匀性,3.1.4其余项目采用现场主观方法进行检查,3.2 评定方法,3. 2.1主要项目有2.1.1、2.1. 2.2.1. 3,2.1. 4其余为次要项目,3.2- 2主要项目有一项不符合要求,为不完好设备;次要项目有二项不符合要求,亦为不完好,设备,3.2.3完好设备的维护保养,应达到优等设备标准,附加说明:,本标准由电子工业部经济运行与体制改革司提出,本标准由中国华晶电子集团公司、国营南光机器厂组织起草,本标4起草人:王浩清、华一新、顾军建、吴正伟、王洪波（国营南光机器厂）,2……
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